太阳城娱乐城 Semiconductor

ELEDE® G380A/G380D

芯片刻蚀机

联系咨询
ELEDE® G380A/G380D 芯片刻蚀机
ELEDE® G380A/G380D Etcher
ELEDE® G380A/G380D刻蚀机是应用于LED芯片刻蚀工艺的等离子体干法刻蚀机，配置单/双反应腔、托盘式、多片Tray in Tray out全自动作业。设备适用于Mini LED、Micro LED多种材料刻蚀，覆盖蓝绿、红黄芯片刻蚀全流程。
设备特点
  • 满足多种材料刻蚀工艺应用，工艺窗口宽
  • 单托盘放置9片4英寸/4片6英寸晶圆，实现高产能，同时确保良好的刻蚀均匀性
  • 全路径全真空，全自动晶片传输，颗粒控制优
产品应用
  • 晶圆尺寸
    2、4、6 英寸及特殊尺寸
  • 适用材料
    氮化镓、氧化硅/氧化钛、砷化镓、磷化镓、铝镓铟磷、氮化硅、钨化钛、有机物等
  • 适用工艺
    电极、深槽隔离、DBR、红黄光、钝化层、金属阻挡层等刻蚀
  • 适用领域
    半导体照明、Mini LED
分享我们：
微信扫一扫
太阳城娱乐
官方公众号