AGF Series 电阻式SiC长晶炉
AGF Series Resistance SiC Crystal Growing Furnace
- 设备特点
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- 适用于6、8英寸，导电/高纯半绝缘型SiC晶体生长
- 4组加热器独立控制，灵活的温场调节能力
- 坩埚系统具备升降、旋转功能，温场更均匀
- 下装载，上维护，操作便捷
- 产品应用
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- 晶体尺寸6、8 英寸
- 适用材料碳化硅
- 适用工艺物理气相输运法（PVT 法）
- 适用领域化合物半导体、科研、衬底材料
- 加热方式电阻加热
