GP120 石墨纯化炉
GP120 Graphite purification furnace
- 设备特点
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- 稳定的超高温结构
- 行业内较低的能耗控制技术
- 完备的净化气体解决方案
- 精准的气体与流场控制
- 技术指标
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- 工作温度2400℃
- 工艺气体卤素气体
- 温度均匀性≤±5℃
- 冷态极限真空度5Pa
